硅片清洗作为制作光伏电池和集成电路的基础,非常重要,清洗的效果直接影响到光伏电池和集成电路最终的性能、效率和稳定性[1]。硅片是从硅棒上切割下来的,硅片表面的多层晶格处于被破坏的状态,布满了不饱和的悬挂键,悬挂键的活性较高,十分容易吸附外界的杂质粒子,导致硅片表面被污染且性能变差...  [详内文]
硅片清洗技术 有你所忽视的要诀吗? |
作者 | 发布日期: 2018 年 07 月 16 日 14:18 | | 分类: |