半导体设备大厂应材(APPLIED MATERIALS)2013年9月30日于第28界欧洲太阳光电会议展暨展览会推出新一代离子植入系统,借由内建图形化工艺的执行,减少降低良率的步骤,并且将每小时处理外延片拉升至3000片,有效降低生产成本,并且将太阳能电池转换效率提高至22%以上。
应材利用离子植入系统过去应用在半导体的经验,将其导入太阳能设备中,提高每小时外延片处理片数、降低生产成本,并且提升工艺良率,目前应材在太阳能离子植入系统市场市占率约85%-90%,应材也选在第28届欧洲太阳能光电会议暨展览会(28th European Solar Energy Conference and Exhibition)推出新一代离子植入系统Solion XP,抢攻太阳能厂商新技术开发商机。
应材新一代离子植入系统Solion XP能执行内建的图形化掺杂工艺,在生产过程中消除一些会降低良率的步骤,借此大量生产高校电池,并达到优越的良率和降低成本的目标,Solion XP具备精密扫描架构和可扩展设计的支援功能,并且将每小时处理外延片数量由上一代的1100片的水准拉升至3000片以上,有效将低生产成本。
应材副总裁暨能源暨环保解决方案事业群太阳能产品总经理Jim Mullin指出,Solion XP能在相同或是低于传统电池和组件成本下,达到电池转换效率超越22%的表现,Solion XP除了可以提升生产效率以外,同时可以进行二维精密图案N型电池工艺。
应材指出,电池工艺商目前正由P型太阳能电池转为生产N型太阳能电池,因为N型太阳能电池可以大幅提升电池转换效率、组件功能输出与能源采集量,整体每瓦成本和产品差异化更具竞争力。而大量生产N型电池需要先进技术能力,包括精密布图和优质硼掺杂技术,同时简化制造步骤与生产程序,Solion XP所具备的内建图案化功能将可精密控制掺杂物接面深度、剂量与硼和磷的配量,促使高效率的载子活化作用,降低N型基板上先进电池结构的整体热积存。
应材全球产品经理Wesley Skinner预期,2015年太阳能厂大举扩增资本支出的可能性较低,他透露,现阶段太阳能业者多在增加研发(R&D)资出,决定未来技术走向,着重于技术而非产能的提升,对于应材而言,新技术的发展也为应材新一代Solion XP带来机会,目前也与台厂进行接触。